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Product laser

產品中心
激光巨量轉移設備
產品簡介
采用經過特殊整形后的光斑,結合高速振鏡掃描,快速準確地將微米級三色芯片從外延基板轉移到驅動電路基板上,實現Micro LED高精度、高良率、大規模生產。
產品特點

集視覺定位校正、觀察、轉移和自動上下料為一體,智能化程度高

配備高精度視覺定位、高精密運動控制平臺,轉移精度高

芯片無損傷,轉移效果好

應用領域
Micro LED制造
技術指標
設備尺寸
5000mm(L)x3500mm(W)x2500mm(H)
設備重量
7000kg
兼容尺寸
4~6寸
轉移精度
≤±1.5μm
轉移良率
≥99.99%